据资料显示，相较普通空调系统而言，洁净空调系统的能耗是普通空调系统15倍以上，且半导体工厂中洁净空调设备的能耗甚至占到工厂总能耗的40%以上。通过分析半导体厂房的特点，其能耗大的主要原因如下：

(1)由于半导体厂房对生产环境洁净度要求高，因此所需的新风量和换气次数大。同时洁净空调系统一般采用2-3级过滤方式，其净化过程中的阻力较大，一般达到700Pa左右，风机功率大。以一个ISO6级的洁净室为例，假设洁净室面积为12m*8m，高3m，如设计用垂直单向流的气流组织形式，按照设计规范其送风口风速为3-5m/s，其送风量非常大，折合成换气次数为300~400次/小时，因此其耗能非常高；

(2)由于半导体制造工艺要求，洁净室的温度一般为23℃±2℃、湿度为35%~55%，换算后半导体厂的冷负荷高达2500~1000W/㎡。因此其空调系统的制冷和制热要求高；

(3)半导体厂房由于设备的启停耗时长，一般采用“三班倒”进行24小时不间断工作，这要求洁净空调系统和冷热源系统的工作制为7*24小时，因此对比一般空调系统，其工作时间长；

从以上分析得出，由于洁净室具有换气次数高、要求风量大、空调系统的风压高和运行时间长的特点，故其能耗较大，运行维护成本高。为了满足洁净室生产工艺要求的条件，尽可能的减少洁净室空调的能耗是我们需要分析解决的问题。一般洁净室常用的节能措施包括：

(1)采用变风量方式运行。在夜间或节假日期间，空气处理机组降低风量运行，工作在低功耗模式下，节约动力费用；

(2)尽可能的减少风机温升负荷。使用低阻过滤器，减少主循环管路上的阻力，可减少风机功率转化热量后对系统的影响；

(3)提高设备效率以降低功率消耗。采用高效率的风机、水泵和单位功率制冷量大的冷冻机等；

(4)控制合适的新风量。在满足洁净室生产工艺条件下，尽可能减少排风量。新风冷负荷可能占40%-60%的总负荷，合理的新风量将极大的减少能耗；

(5)采用蓄冷（包括冰蓄冷、水蓄冷）方式，可以节电移峰，降低成本；